“デスクトップリソグラフィ”をキーワードに、裝置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を?qū)g現(xiàn)しました(※1)。また獨自のフローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振臺不要?真空吸著用エア源內(nèi)蔵を?qū)g現(xiàn)。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは機と100V電源のみ(※2)です。

「マスクレス露光裝置は便利だが數(shù)千萬円するものだから、導入は諦めよう」
そんな常識を打ち破るべく機能を大膽に絞り込み、各研究室レベルで導入できる低価格を?qū)g現(xiàn)しました。もちろんマスクレス露光裝置が持つ自由度はそのまま活用できますので數(shù)10～數(shù)100μmの微細パターンを求める研究?開発に最適です。

ラインナップ

オプション

周辺オプションを個別に設計することも可能です。ご希望があればお問合せください。