超高精度XYステージ

■製品特長(zhǎng)
?超音波モータと光學(xué)式リニアスケールとの組み合わせた、分解能10nmの高精度ステージ
?動(dòng)き出しの不感帯が微小な為、真円に近いステージ動(dòng)作が可能
?ご要望に応じたカスタマイズオーダーに対応可能

■主なアプリケーション
?顕微鏡との組み合わせによる電動(dòng)ステージ
?加工裝置への導(dǎo)入
?計(jì)測(cè)機(jī)器のサンプルステージ